產品用途、適用范圍及特點

 

本機主要用于藍寶石片狀材料的單面拋光，也可用于碳化硅、石英、硅片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料平行平面的單面高精度、高效率拋光。

  

該機采用觸摸界面及PLC控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面，充分發揮機械硬件性能；該機主傳動具有傳動鏈短、穩定可靠等特點；四個上拋頭主動旋轉，壓力控制采用電氣比例閥任意設定，且每個頭均可單獨控制；上下拋盤均采用循化冷卻水強制冷卻，溫度控制精確。

 

設備傳動結構及布局

 

4.1主軸系統位于設備的下方，由電機通過窄V帶拖動蝸輪蝸桿減速箱，減速箱與軸直連，采用最短的傳動鏈保證了其運轉精度, 下盤采用交叉磙子軸承定位支撐，運轉剛度和精度都得到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉接頭，用于拋盤內通冷卻水；

4.2上拋光系統頭位于設備的上部，上拋光頭的升降及加壓由氣缸實現，上盤設有冷卻水通路用于上拋頭的冷卻，上拋頭的旋轉由減速電機通過齒輪直接驅動；

4.3在下拋盤中間設有可升降的一個中心導輪裝置，在接液盆邊緣部位設有四個外導輪裝置，二者配合可實現工件盤的自動定位；

4.4在設備的上部橫梁正面設有主操作面板，可進行參數設定，運行監控等功能，在橫梁的側面各有兩個小操縱板用于四個上拋頭的升降操作；

4.5在設備后部箱體上裝有液路系統，設有上下盤冷卻水、拋光液、清洗水的通路；

4.6在設備的前部箱體與橫梁兩側裝有前立柱，用于橫梁的輔助支撐，立柱高度方向可微調；

4.7在箱體的右側設有兩個加油口，用于主軸兩組軸承的潤滑；

4.8在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于拋盤盤面溫度的監測；

4.9在下拋盤的外側設有可滑動的防護罩，可防止工作液的飛濺，減少有害氣體的溢出；

4.10拋光液供給系統具有拋光液冷卻、拋光液攪拌等功能；

4.11歷史數據（溫度、壓力、轉速、時間等）可導出

4.12界面密碼分級管理，可根據 不同權限設置